ZP3P系列真空吸盘
ZP3P系列纵向真空引出型带缓冲器
ZP3P系列纵向真空引出型带缓冲器是一种专为高真空环境设计的粒子流导向装置,其核心功能在于实现纵向粒子束的高效、稳定引出,同时通过集成缓冲结构优化粒子传输动力学特性,适应精密工业流程的需求。
主要技术特性
纵向真空引出架构
采用轴向对称真空通道设计,确保粒子流沿设备主轴方向定向传输,规避侧向引出导致的流场畸变问题,维持真空腔室的气流完整性。
嵌入式缓冲机制
内置多级动力学缓冲单元,通过非接触式能量梯度调控实现对高能粒子流的预调节,降低粒子相空间发散度,为下游工序提供准直性更优的粒子束流。
真空兼容性设计
全结构满足超高真空(UHV)材料规范与密封标准,关键组件经表面钝化处理以抑制放气效应,确保在10<sup>-5</sup> Pa及以上真空度下的长期稳定运行。
传输动力学优化
缓冲模块与引出通道的协同设计实现粒子能量谱的主动压缩,有效抑制散射损失并提升束流品质,尤其适用于对单色性要求严苛的应用场景。
工业系列适配性
标准法兰接口支持模块化集成,可无缝对接各类真空工艺腔室,其无磁化结构设计进一步扩展了在磁场敏感环境中的适用性。